AMETEK程控电源的半导体设备供电应用

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AMETEK程控电源的半导体设备供电应用

时间：2023-09-11

AMETEK程控电源

AMETEK程控电源事业部深耕半导体行业多年，为众多半导体客户提供多种产品和解决方案，例如半导体设备供电应用，电子器件的性能测试和老化测试应用，激光器件测试和激光器供电应用等。在半导体设备供电应用中，AMETEK程控电源有很多典型的案例。

MOCVD设备中的应用

金属有机物化学气相淀积(MOCVD）是生产LED 晶圆的主要方法之一。MOCVD设备是LED晶圆生产的重要设备。一套MOCVD设备中需要配备若干台高功率电源设备为系统供应能量，且不同的系统部件需求不同功率等级电源设备。其制程长，要求供电设备稳定可靠；实验室空间有限，要求设备功率密度要高；可使用水冷或风冷设备。国际知名MOCVD厂家选购AMETEK SG系列/ASD FLX系列产品应用于MOCVD设备中，每年达数百台。

MOCVD设备中的应用

AMETEK SG系列/ASD FLX系列产品应用于MOCVD设备中

离子注入机中的应用

离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。客户需求使用大功率高功率密度的直流电源设备为离子注入机提供电能激励，其要求供电设备稳定可靠，故障率低。某国内知名离子注入机公司近年选购AMETEK SG15kW、SG20kW电源近百台。

离子注入机中的应用

AMETEK SG系列产品应用于离子注入机设备中

固态照明/高亮度LED/温湿度箱中的应用

在众多的半导体设备中均会选购AMETEK程控电源产品，如固态照明设备/高亮度LED/温湿度箱，皆因AMETEK程控电源产品稳定可靠，体积小巧，性价比高。

固态照明/高亮度LED/温湿度箱中的应用

AMETEK提供多种系列直流电源，满足多种供电需求

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